需求技术介绍 （详细说明技术难题的应用领域，水平等级、突破难点以及需请专家支持或解决的问题）
" 纳米分辨力电容位移传感器属于微位移测量领域高精尖技术。目前运用于高精度测量的传感器家族中，进行纳米分辨力测量的传感器主要可分为电容传感器、电感传感器、光干涉传感器三大类。电容式位移传感器以其结构简单、分辨率高、稳定性好、抗干扰能力强、动态特性好、非接触测量等优点，特别适宜于动态、在线检测，并能够在特殊环境下工作，被广泛应用于航天航空、汽车、机床、光学器件加工以及其他工业测控领域，主要用来测量各种介质的薄膜厚度、金属微变、微小尺寸、微小孔径及微位移、微振动。
纳米或亚纳米位移灵敏度特性已经成为纳米技术、微电子技术和超精密工程领域的关键技术问题。我国目前电容式位移传感器的分辨力基本保持在10纳米左右，美英等国的电容式微位移传感器在精度上已经可以稳定实现1纳米以下的分辨力，但是技术及产品对我国封锁，这也成为了制约我公司目前在研的“超精密原位纳米压痕测试仪”项目的技术难点。因此为了突破国外的技术壁垒及封锁，公司必须下大力气解决仪器关键部件技术的自主化，将我国电容式位移传感器的分辨力提高到1纳米及以下。（详见后附报告 第三章）"

需要解决关键技术难题、技术参数与相关指标描述
" 高精度纳米电容位移传感器关键技术难题主要分4部分：传感器测量探头关键技术、传输导线关键技术、测量电子电路部分关键技术、测量软件关键技术。（详见后附报告 第四章）
技术参数：
线性量程：50µm
 绝对误差：0.1µm
 分辨率：1nm
 零点温度稳定性：60nm/℃
 温度灵敏度：-10ppm/℃
 工作温度：-50°C ～ +200℃
 探头尺寸：Ø6 × 12 mm"