需求技术介绍 (详细说明技术难题的应用领域,水平等级、突破难点以及需请专家支持或解决的问题)"干涉仪五维调整架用于干涉仪配套使用,精密定位装置,装置包括X轴位移调整平台,Y轴位移调整平台,Z轴位移调整平台,二维角度调整架。检测光学元件面型精度时通过调整X Y Z轴,调整被检测光学元件的方向,与干涉仪光束同轴,配合检测镜片面型精度。目前高精度干涉仪有美国产的ZYGO干涉仪,配备进口调整架价格昂贵。配备国产调整架质量不过关,出现夹具爪松动,空程现象。"需要解决关键技术难题、技术参数与相关指标描述调整架定位精度高,可实现五维调整,调整行程稳定,无传动间隙性能稳定